岗位职责:
1. 负责光刻产品的工艺调试及分辨率、套刻精度等指标测试,同时完成在用户端使用过程中出现的问题的记录、反馈工作。
2. 负责执行具体图形的光刻打样实验工作,做FEM实验并测量显影后图形参数以找出最佳曝光能量和聚焦值;使用FEM数据做工艺窗口分析,输出光刻打样实验报告。
3. 通过自动化平台测试获得所监控的显影后图形的工艺参数,并对测试数据进行统计分析以评估设备的工艺稳定性。
4. 负责光刻实验平台的持续建设、维护与管理,光刻胶材料选型与评估等相关工作。
5. 与相关人员紧密协作,配合完成光刻实验工作。
岗位要求:
1. 熟悉光刻工艺流程及光刻设备结构、工作原理和操作方法等。
2. 熟悉光学膜厚仪、3D光学显微镜、扫描电镜等常用光刻工艺参数测量、形貌观察设备及测量表征方法。
3. 具备实验设计和数据统计处理能力。